真空室中的传染会导致危险的化学反映和不用要的副作用。 普林斯顿大学环境健康与安全办公室（EHS）强调，真空工作会导致内爆以及空气传染物、玻璃、化学品飞溅和火警的潜在危险。

真空室必要高水平的清洁度，可延长到分子尺度。这对于确保关键设备的靠得住运行至关沉要，例如半导体造作设备、空间模仿室和等离子体钻研设备等。

由于传染物对安全性、靠得住性、可持续性和环境影响组成沉大风险，因而治理真空室系统至关沉要。真空系统中传染的一个沉要原因是除气，当气体或蒸气等挥发性物质从露出于减压的资猜中开释出来时，就会产生这种情况。

这种景象会严沉影响系统的机能和清洁度。除气会降低真空室的纯度，导致真空室内的压力变动，同时传染其他设备。

由于轴承结构中使用的资料和周围环境前提，轴承容易脱气。轴承的除气会导致很多风险和挑战，通过增长摩擦、加快磨损和潜在的故障逐步影响其机能。

轴承通常由多种资料组成，蕴含金属、塑料和光滑剂。其中一些资料可能含有不成预测的化合物或滞留气体，例如含有挥发性增长剂或溶剂的光滑剂以及含有残留加工化学品的塑料。

高温轴承

 

当轴承露出在高真空环境中时，与资料的内部压力相比，较低的表部大气压会导致这些物质蒸发并逸出到腔室中。

温度在除气过程中起着沉要作用。较高的温度会加快资猜中有害化合物的开释，而在真空室中运行时的温度颠簸会进一步恶化问题。

为相识决这些问题，关键是要选择不易出现这种景象的轴承资料。例如，不锈钢轴承和陶瓷轴承极度适合高温试验箱。316 级不锈钢轴承等选件可能接受低至 -200°C 和高达 500°C 的极端温度，只管负载能力有所降低。

不锈钢在轴承部件的机关中拥有最幼的释气优势。这蕴含环、滚珠和固定器。因而，不锈钢轴承，无论是开式还是屏蔽式，都是丁腈橡胶密封轴承的首选。后者通常用于真空利用，但可能会带来传染风险，尤其是在光学元件等易碎表表上。

此表，很多塑料轴承由于释气率高而不适合，但由PEEK造成的塑料轴承拥有最幼的释气个性，使这种资料成为在真空和减压环境中使用的相宜选择。

轴承光滑

轴承通常依附光滑剂来削减摩擦和磨损。在真空环境中，必要仔细思考选择相宜的轴承光滑剂。这重要是由于大无数光滑脂容易过度蒸发，从而导致潜在的传染和无效的光滑。因而，轴承光滑剂的选择必须合用于所有指定的环境前提，并思考速度、负载和温度等操作成分。

然而，在很多高真空室中，轴承以极度低的速度运行，要么在没有任何光滑的情况下使用，要么拥有干燥涂层，例如二硫化钼 （Mos2）。在必要光滑的情况下，必须选择低释气的专业真空光滑脂。

此表，在齐全未光滑的轴承中存在冷焊的风险，由于钢在超高真空 （UHV） 前提下的行为分歧。轴承的钢氧化层能够在空气中再生以预防冷焊，但在工业真空环境中不拥有一样的；こ尚，可能导致套圈、滚珠和维吃祺之间的原子金属与金属接触。

为了降低这种风险，超高真空腔室中的轴承通常用 Mos2 或二硫化钨 （WS2） 进行干涂层。专业真空光滑脂也能够预防这个问题。为了有效治理真空利用中的释气问题，必要选择专门设计的拥有低释气个性的资料，并进行适当的光滑。

必要对真空系统进行定期守护和监测，以便实时解决与除气有关的问题。为了获得最佳机能，能够使器拥有最幼释气率的专用低挥发性全氟光滑脂，并宽泛用于半导体造作和深空设备蹬爪用。

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